光收发模块硅基平台微带线的模拟设计

摘要：

本文对光电混合集成收发模块硅基平台微带线进行了模拟设计,通过建立了一个6层结构的物理模型,对两种微带线尺寸的S参数进行了研究.研究结果表明:在高频条件下(>1Gb/s),40μm线宽的微带线的反射和损耗均小于100μm线宽的微带线,因此对低电阻率硅片(3~8Ω·cm),减少线条宽度对减少损耗有益,但相应会造成传输功率的降低.采用高电阻率硅片,以及改变微带线结构的办法可以提高光收发模块的高频特性.

关键词： 光收发模块 硅基平台 微带线 激光器

作者: 韩振宇 汪锁发 杨存永 赵知夷 魏珂 吴德馨

作者单位: 中国科学院微电子中心(北京)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十二届全国化合物半导体材料、微波器件和光电器件学术会议

会议地点: 厦门

会议语种:中文

页码: 568-572

在线出版日期: 2002-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）