激光器匹配电路中硅基微带线的研究
对在硅基上制作微带线做了研究,发现金属布线和硅衬底之间的介质层对微带线的传输特性影响很大,在介质层SiO<,2>的厚度较薄(≤1μm)的情况下,硅的体电阻对微带线的传输特性影响很大,采用高阻硅可以制作传输特性良好的微带线;加厚布线层下面的介质层SiO<,2>可以改善微带线的传输特性,当SiO<,2>较厚(≥2μm)时,利用低阻硅也可以作出低损耗的微带线,基于以上的研究设计出了传输特性良好的特性阻抗为50ohm的微带线,为高频激光器的无源耦合提供了指导.
微带线 电磁场分析 硅基平台 激光器 传输特性 匹配电路
杨存永 汪锁发 韩振宇 赵知夷 吴德馨
中科院微电子中心
国内会议
厦门
中文
564-567
2002-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）