紫外写入法制作列阵波导光栅(AWG)的研究

摘要：

本文提出了一种可能代替传统的利用反应离子刻蚀法(RIE)来制作列阵波导光栅(AWG)的新方法——紫外写入法.对紫外写入法制作AWG的可行性和优缺点进行了分析,设计了AWG版图,并对整个工艺流程进行了设计和优化.

关键词： 列阵波导光栅 火焰水解法 紫外写入法

作者: 吴远大 张乐天 邢华 李爱武 郑伟 刘国范 张玉书

作者单位: 吉林大学电子科学与工程学院光电子国家重点实验室(长春市)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十二届全国化合物半导体材料、微波器件和光电器件学术会议

会议地点: 厦门

会议语种:中文

页码: 560-563

在线出版日期: 2002-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）