一种新型SOI MMI-MZI光开关结构

摘要：

提出了一种与传统SOI(silicon on insulator)MMI-MZI光开关结构完全不同的新型结构——完全基于封闭多模波导的MMI-MZI光开关.这种新型结构放弃了传统MZI开关器件中单模传输的要求,采用多模传输,解决了传统脊形单模波导带来的很多设计和制作工艺困难,比如脊形波导比较难以分析,波导刻蚀深度难以控制,器件长度过大,不利于集成等.结构的简化使光开关制作过程大大简化,工艺要求得到有效的降低.

关键词： 光开关 多模波导干涉器 脊形波导 条形波导

作者: 夏金松 余金中

作者单位: 集成光电子国家重点联合实验室,中国科学院半导体研究所(北京)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十二届全国化合物半导体材料、微波器件和光电器件学术会议

会议地点: 厦门

会议语种:中文

页码: 546-551

在线出版日期: 2002-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）