等离子色散效应在硅导波光学中的应用

摘要：

硅的等离子色散效应反映了硅的折射率及吸收系数随硅中自由载流子(包括自由电子和自由空穴)浓度的变化.本文介绍了硅的等离子色散效应在硅导波光学中的应用.利用硅的等离子色散效应,可以制作重掺杂硅光波导、硅基电光调制器及电光开关.同时,硅的等离子色散效应在实际应用中也存在着一定的局限性.

关键词： 硅 等离子色散效应 导波光学 电光调制器 电光开关 半导体材料

作者: 严清峰 余金中

作者单位: 中国科学院半导体研究所集成光电子学国家重点实验室(北京)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十二届全国化合物半导体材料、微波器件和光电器件学术会议

会议地点: 厦门

会议语种:中文

页码: 538-541

在线出版日期: 2002-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）