1.55μm MEMS可调谐光滤波器的设计和分析
随着互联网的快速发展,可调谐技术日益成为DWDM技术中不可或缺的重要技术.在众多的可调谐技术中,MEMS(Micro-Electro-Mechanical-System)技术由于其特有的优势—能够实现低成本,低功耗和大的调谐范围,已被公认是最佳的解决途径之一.本文介绍了利用Si表面微机械技术,在Si衬底上制作1.55μm Fabry-Perot共振腔型的可调谐光滤波器.其原理是利用上下反射镜的静电吸引作用,实现波长的调谐.我们在国内首次制作了1.55μm的Si基可调谐光滤波器,得到了初步的测量结果.本文详细讨论了可调谐滤波器的设计原则,并进行了力学和光学性能的分析,进而讨论了影响MEMS滤波器可调谐性能的器件参数.
表面微机械 可调谐滤波器 器件制作 光学性能 力学性能
左玉华 成步文 黄昌俊 毛容伟 李传波 罗丽萍 高俊华 白云霞 王良臣 余金中 王启明
集成光电子学国家联合实验室,中国科学院半导体研究所(北京)
国内会议
厦门
中文
534-537
2002-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）