GaInAsSb红外探测器的硫钝化和退火研究

摘要：

暗电流和动态电阻是反映红外探测器性能的重要参数,材料表面的处理可以很大程度上改善探测器的性能.本文介绍了硫钝化和退火处理对于GaInAsSb红外探测器的暗电流特性的改善和动态电阻的提高.

关键词： GaInAsSb 红外探测器 硫钝化 退火处理 暗电流 动态电阻 半导体材料

作者: 黄文奎 夏冠群 周萍 李志怀

作者单位: 中国科学院上海信息技术与微系统研究所(上海)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十二届全国化合物半导体材料、微波器件和光电器件学术会议

会议地点: 厦门

会议语种:中文

页码: 511-514

在线出版日期: 2002-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）