通信用高速光电探测器的研究开发

摘要：

本文介绍InGaAs PIN高速光电探测器的结构设计、批量生产技术、可靠性保证以及测试技术,并给出了系列产品的主要性能.

关键词： InGaAs 光电探测器 光纤通信 结构设计

作者: 曾庆明 李献杰 乔树允 王全树

作者单位: 信息产业部电子第十三研究所专用集成电路国家重点实验室(石家庄市)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十二届全国化合物半导体材料、微波器件和光电器件学术会议

会议地点: 厦门

会议语种:中文

页码: 497-500

在线出版日期: 2002-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）