量子级联激光器的材料生长与器件制作

摘要：

本文详细讨论了量子级联激光器的器件制作过程,包括材料生长,金属电极的制作等,对工艺过程进行了探索.对于10×800μm<”2>的激光器件,阈值电流密度是3kA/cm<”2>,峰值输出功率是~7.2mW.

关键词： 量子级联激光器 材料生长 器件制作

作者: 常秀兰 李成明 刘峰奇 王占国

作者单位: 中国科学院半导体研究所材料开放实验室(北京市)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十二届全国化合物半导体材料、微波器件和光电器件学术会议

会议地点: 厦门

会议语种:中文

页码: 463-466

在线出版日期: 2002-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）