电沉积GaAs薄膜肖特基势垒的研究

摘要：

本文用化学电共沉积法制备出GaAs多晶薄膜,并用该薄膜制备出肖特基势垒,对其制作工艺及有关问题进行了讨论和分析.

关键词： 砷化镓薄膜 薄膜制备 化学电共沉积法 肖特基势垒 制作工艺

作者: 韩爱珍 高元恺 吴杰 胡柏祥

作者单位: 哈尔滨工业大学(哈尔滨)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十二届全国化合物半导体材料、微波器件和光电器件学术会议

会议地点: 厦门

会议语种:中文

页码: 247-251

在线出版日期: 2002-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）