异质外延用高质量蓝宝石单晶衬底片研制

摘要：

本文通过实验,对影响蓝宝石单晶衬底片的质量参数进行了进一步的研究,对单晶控制,切割技术,研磨工艺和抛光工艺进行改进,以期取得更好实用效果.

关键词： 蓝宝石单晶 制备方法 异质外延 单晶制备

作者: 步云英 谢礼丽 于秉华 王皎瑜 苗福贺 皮宝林

作者单位: 天津半导体技术研究所

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十二届全国化合物半导体材料、微波器件和光电器件学术会议

会议地点: 厦门

会议语种:中文

页码: 208-211

在线出版日期: 2002-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）