砷化镓微波单片电路技术在五十五所

摘要：

本文简要地介绍了中国电子科技集团公司第五十五研究所在砷化镓微波单片集成电路研究与开发方面的进展与突破.采用砷化镓0.5微米MESFET、HFET、PHEMT技术研制成功各类宽带及窄带单片电路,金属陶瓷及塑料封装的多种产品已应用于各类军用及民用系统中;工艺线采用统计工艺控制(SPC)技术对关键工艺节点实时监控,提高了工艺的稳定性和成品率;在稳定的工艺基础上,初步建立了各类器件的模型库,为单片电路的精确设计打下了基础.

关键词： 砷化镓 单片电路 微波单片集成电路 工艺控制

作者: 杨乃彬 李拂晓 张斌 陈堂胜 蒋幼泉 沈亚 高建峰 彭龙新

作者单位: 中国电子科技集团公司第五十五研究所(南京)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十二届全国化合物半导体材料、微波器件和光电器件学术会议

会议地点: 厦门

会议语种:中文

页码: 11-16

在线出版日期: 2002-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）