气溶胶MOCVD制备固体电解质薄膜与表征

摘要：

采用气溶胶辅助的金属有机物化学气相沉积方法,以金属β-二酮鏊合物作为前驱物,在NiO基阳极衬底上制备了Gd<,2>O<,3>掺杂的CeO<,2>(GDC)和Y<,2>O<,3>稳定的ZrO<,2>(YSZ)电解质薄膜.应用差热方法分析了前驱物的挥发性和分解性能,对薄膜的相结构、形貌、组成和离子电导率等性质进行了表征,分析了沉积温度对薄膜性能的影响.

关键词： 化学气相沉积 燃料电池 固体电解质 薄膜 复合掺杂

作者: 宋海政 孟广耀 彭定坤

作者单位: 中国科学技术大学材料科学与工程系(合肥)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十一届中国固态离子学学术会议暨固体电化学能源装置国际研讨会

会议地点: 合肥

会议语种:中文

页码: 345-349

在线出版日期: 2002-10-14（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）