当今的微机械电子系统装置为传感器发展提供更好的方法
微机械电子系统将机械结构和半导体电路封装在一起，这样，可在降低成本的同时提高控制系统的可靠性。工业控制中的许多重要变化，是因为微机械电子系统（ＭＥＭＳ）装置的发展和进步。这种基于微型机械的技术已经在传感器的发展中产生了重要影响，最终将在大量的工业控制产品的发展中，占有重要地位。在这篇文章中，研究人员将了解什么是ＭＥＭＳ装置，现在在工业中的应用领域以及将来的发展前景。
传感器 微机械电子系统 应用 发展前景
Randy Frank
国内会议
成都
中文
374～376
1998-07-25（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）