Ｂ〈’＋〉和Ｐ〈’＋〉注入Ｇｅ及钱离子注入光电三极管

关键词： Ｇｅ中离子注入 白光快速退火 光电三极管

作者: 杜树成 李国辉 姬成周 徐嘉东 杨占坤

作者单位: 师范大学、低能核物理研究所(北京) 院半导体所 院半导体所(北京)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十届全国电子束、离子束、光子束学术年会

会议地点: 长沙

会议语种:中文

页码: 223～226

在线出版日期: 1999-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）