Ge组分对SiGe合金退火行为的影响

摘要：

采用快速热退火对外延SiGe/Si合金样品进行热处理。用双晶X-ray衍射，Raman，RBS分析样品的应变及组分变化。结果表明大组分（＞0.3）合金在退火时有明显的互扩散发生，组分越大，互扩散越明显。

关键词： Ge SiGe合金 退火行为

作者: 刘金平 李建平

作者单位: 院半导体所材料中心(北京)

会议类型: 国内会议

会议名称: 全国化合物半导体、微波器件和光电器件学术会议

会议地点: 宜昌

会议语种:中文

页码: 138～139

在线出版日期: 1998-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）