立方相GaN外延层中六角相和微孪晶分布的极性特征

摘要：

该文采用湿法腐蚀法间接确定GaN外延层的极性，利用X射线四圆衍射仪测绘立方相GaN外延层中六角相的(100)极图、立方相的(111)极图和不同入射方向地的倒易空间mapping，结果表明与平行于”110”晶向的(111)<,AS>面和(111)<,AS>面相比较，平行于”110”晶向的(111)<,Ga>面和(111)<,Ga>面上容易形成六角相和微孪晶。

关键词： GaN外延层 六角相 孪晶分布 极性

作者: 渠波 郑新和 王玉田 韩景仪

作者单位: 中国科学院半导体研究所(北京) 中国地质科学院矿床地质研究所(北京)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第七届全国固体薄膜学术会议

会议地点: 广西北海

会议语种:中文

页码: 169～171

在线出版日期: 2000-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）