GaN基材料的RF等离子体MBE生长与特性

关键词： GaN基材料 RF等离子体 MBE生长

作者: 齐鸣 李爱珍 李伟 赵智彪 张永刚 陈建新

作者单位: 中国科学院上海冶金研究所信息功能材料国家重点实验室

会议类型: 国内会议

会议名称: 第五届全国分子束外延学术会议

会议地点: 昆明

会议语种:中文

页码: 16-17

在线出版日期: 1999-06-20（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）