GaN材料的RFPlasma MBE生长及掺杂研究

关键词： GaN材料 RF Plasma MBE生长 掺杂

作者: 李伟 李爱珍 赵智彪 齐鸣

作者单位: 中国科学院信息功能材料国家重点实验室 中国科学院上海冶金研究所(上海)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第五届全国分子束外延学术会议

会议地点: 昆明

会议语种:中文

页码: 61-62

在线出版日期: 1999-06-20（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）