关键词： GaN薄膜 电子回旋共振 等离子体
作者: 姚金兹 杜小龙 陈广超
作者单位: 中国科学陆军,物理研究所
会议类型: 国内会议
会议名称: 第九届全国等离子体科学技术会议
会议地点: 大连
会议语种:中文
页码: 165-167
在线出版日期: 1999-08-09（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）