GaAs表面硫化学钝化的光调制反射谱研究

摘要：

硫化是迄今为止最好的钝GaAs表面的方法。该文利用一系列硫化学试剂对表面一本征层一重掺杂层（s-i-n<”+>）结构的样品进行钝化，利用光调制反射谱观察到了大量的Franz－Keldysh振荡，并测量出了本征层的电场强度，从而研究了GaAs表面硫钝化前后费米能级的变化，并且比较了各种钝化方法的钝化效果。

关键词： GaAs 硫化学钝化 光调制反射谱

作者: 廖友贵 潘士宏 梁基本

作者单位: 电子技术标准化研究所 文学物理系 科学院半导体研究所

会议类型: 国内会议

会议名称: 第六届全国固体薄膜学术会议

会议地点: 成都

会议语种:中文

页码: 207～209

在线出版日期: 1998-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）