油扩散泵一级喷嘴几何尺寸对其最大抽速影响的理论分析

摘要：

该文依据真空技术的基本方程式及分子流态下进气口截面具有的流导其数值等效于泵的抽速，着重从扩散泵第一级喷嘴高度变化来分析对抽速大小的影响。

关键词： 抽气速率 几何尺寸 油扩散泵 一级喷嘴

作者: 徐玉江

作者单位: 兰州真空设备有限责任公司

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国真空学会真空获得与测量学术交流会

会议地点: 广西北海

会议语种:中文

页码: 79-82

在线出版日期: 2001-05-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）