半导体微型加速度计梳状结构之流志阻尼分析
半导体微型加速度计梳关感测微结构之周遭流场，为一个二维、时变、不可压缩、具周期性边界条件之Ｈ－Ｓ偏微分方程问题，该文具解析解。但由于尺寸缩小之关系，扩散效应极为显著，故该速度场之偏微分系统，可藉雷诺数趋于渐近展开理论描述之。该文以复数平面之分离变数法，处理速度场之零皆热扩散偏微分方程组，除了得到枋状结构周遭之近似流场外，普进一估算其续振因子与阻尼比，可作为微型加速度计动态性能预测之依据。
阻尼 梳状结构 加速度计 半导体 分离变数法
杨龙杰 李其源 张培仁
大学机械工程学系 大学应用力学研究所
国内会议
北京
中文
235～240
1998-07-03（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）