自旋阀(Spin Valve——SV)读出头内CoZrTa屏蔽膜的退火处理
自旋阀读出头结构主要由自由层、非磁间隔层、被钉扎层和钉扎层构成.由于感应式写头/SV读出头是一个用集成工艺制作成的整体双元头,因此SV磁头中还必须有屏蔽层.技术上要求被钉扎层的易轴垂直于下屏蔽层的易轴,而被钉扎层的易轴是由钉扎层的易轴决定的.为了形成钉扎层的反铁磁相,一些性能优越的钉扎层材料(如NiO、NiMn等)往往又需要在磁场下进行260℃退火.这一退火过程就使得屏蔽层易轴转动了90°,与被钉扎层易轴方向一致.这是不允许的.为此,我们对屏蔽层进行了沿易轴方向加磁场的预退火.结果证明:310℃以上的预退火温度下退火2h,即可解决这一问题.
自旋阀 屏蔽层 易轴 预退火 磁头
宋庆山 方光旦
中国科学院计算技术研究所(北京)
国内会议
厦门
中文
444-445
2001-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）