装上新的自动换靶装置的负溅射源的总体试验及负集团束的研究

摘要：

简单介绍在机械和电控方面做了重大改进的自动换靶装置装到改进过的源体的总体试验。集团束是目前核物理的研究特点，该文介绍用的源对C、Si和Al等元素进行集团束的研究结果。对影响集团束产生的因素及提高集团束流强的方法提出的见解。综合世界研究结果，列表给出周期表各元素用强流负溅射源产生的负单了束和负集团束的流强。

关键词： 自动换靶 负溅射源 负集团束

作者: 杜光天 张继东 朱锦华 斯厚智 张维忠

作者单位: 中国科学院上海原子核研究所

会议类型: 国内会议

会议名称: ”99全国荷电粒子源粒子束学术会议

会议地点: 成都

会议语种:中文

页码: 50～55

在线出版日期: 1999-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）