共焦检测法在高精度自动调焦闭环控制中的应用
光学、气动和电学的方法无法可用于光学镜组的离焦检测。该文提出了利用光学共焦原理测量光学系统离焦的新方法。与共它离焦检测相比，该方法具有检测灵敏度高，检测范围适中，响应速度快等优点，特别适用于高精茺的离焦检测和控制，论文从理论上导出了该方法检测灵敏度和检测范围的各参量关系。由此分析得出了影响灵敏度和检测范围的参量。在此基础上设计完成了一套可应用于自动调焦的高精茺闭环检测控制系统，并给出了此闭环系统的控制处理电路和压电精密弹性机械执行机构。在选择良好参数后，系统达到的离焦检测灵敏度为0.1μm，检测控制精度为±0.1μm，检测范围-15～15μm。
自动调焦 共焦显微镜 光学镜组 离焦检测 闭环控制 光学系统
沈亦兵 扬国光
浙江大学现代光学仪器国家重点实验室(杭州)
国内会议
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1999-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）