实用型硅单晶中氧、碳含量自动测量系统

摘要：

实用型硅单晶中氧、碳含量自动测量分析软件是WQF系列付里叶变换红外光谱仪的中文显示专用软件,主要用于硅单晶(直拉硅、区熔硅)中氧、碳含量测量.

关键词： 自动测量 付里叶变换红外光谱 硅单晶 氧含量 碳含量

作者: 李光平 李静 王良 汝琼娜 何秀坤 武惠忠 杨学军

作者单位: 信息产业部电子第四十六研究所(天津) 北京第二光学仪器厂(北京)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第四届中国功能材料及其应用学术会议

会议地点: 厦门

会议语种:中文

页码: 880-881

在线出版日期: 2001-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）