金刚石膜紫外光电导探测器及性能
用化学气相沉积法生长金刚石膜，在此膜上制作紫外光电探测器，并作了性能测试。该器件是叉指式电极结构，可以减小电极间隙，减少光激发载流子的损失，提高器件的响应灵敏度。表面处理可除去金刚石膜的低电阻表面层，提高器件对紫外光的探测性能。测试表明，用金刚石制作的器件对波长小于225nm的紫外光的响应比可见光高4个量级。
紫外光电探测器 金刚石薄膜
王玉光 费允杰 冯克安
中国科学院物理研究所表面物理国家重点实验室(北京)
国内会议
海口
中文
253～255
2000-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）