用于准分子激光微细加工的高能量效率多重反射光学系统和装置的实验研究

摘要：

该文介绍了作者研制的准分子激光微细加工系统。通过选用成象光学系统改进了传统的消融、刻蚀方案；具有能量效率高，单脉冲加工面积大的优点，并实现了相当好的微加工结果。

关键词： 准分子激光器 激光微细加工 多重反射光学系统

作者: 向世清 楼祺洪 丁爱臻 魏运荣 董景星

作者单位: 中国科学院上海光机所一室(上海)

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国光学学会98年中国青年光学学术研讨会

会议地点: 西安

会议语种:中文

页码: 92-96

在线出版日期: 2000-01-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）