快速高精度转速的测量和控制

摘要：

本文介绍了一种测速方法和速度,加速度控制方法,并成功应用于某硅片处理系统中,应用表明本方法具有测速范围宽,测量精度高和响应快等特点,效果满意.

关键词： 转速测量 转速控制 硅片处理系统

作者: 樊波 常弘 白建社 薛钧义 年有权 张文涛

作者单位: 西安交通大学工业自动化系(西安) 西北机器厂微电子设备公司(宝鸡)

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国仪器仪表学会第三届青年学术会议

会议地点: 沈阳

会议语种:中文

页码: 78-78

在线出版日期: 2001-06-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）