关键词： 重掺锑 硅 单晶 析晶机理
作者: 郭盘 刘建功 吴志刚
作者单位: 半导体材料厂
会议类型: 国内会议
会议名称: 1998年全国半导体硅材料学术会议
会议地点: 上海
会议语种:中文
页码: 57～58
在线出版日期: 1998-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）