Φ100mm重掺砷硅单晶的研制

摘要：

通过拉晶热场系统、单晶炉真空系统及计算机自控参数，掺杂机构、拉晶工艺等一系列改进，在国产ＴＤＲ－６２Ｂ单晶炉上采用１２″热场成功地实现了大投料量，生长出Φ１００ｍｍ重掺砷硅单晶。同时还进一步改进和完善了重掺砷单晶在试制、生产过程中的环保治理，采取了高效安全的砷毒防护措施，目前已投入批量生产，产品８０℅以上销往美、日等国。

关键词： 重掺砷 硅 单晶生长

作者: 董尧德 黄肖军 余俊军 吴圣登 郑志秀 丁亭亭 吴常开

作者单位: 省开化六○一厂 开化六○一厂

会议类型: 国内会议

会议名称: 1998年全国半导体硅材料学术会议

会议地点: 上海

会议语种:中文

页码: 48～52

在线出版日期: 1998-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）