重掺砷硅初底外延工艺

摘要：

重掺砷硅初底批量外延生产中存在着均匀性、一致性和重复性差等问题，该文对其主要原因－－－自掺杂进行了分析，并提出了抑制自掺杂的工艺，从而大大提高了批量生产中的工艺稳定性和成品率。

关键词： 重掺砷 硅 初底 外延 工艺

作者: 薛宏伟 夏明颖 赵丽霞 田中元 陈秉克 吴福民 魏毓峰

作者单位: 工业部十三所

会议类型: 国内会议

会议名称: 1998年全国半导体硅材料学术会议

会议地点: 上海

会议语种:中文

页码: 138～141

在线出版日期: 1998-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）