ICP-MS法测定硅片表面BPSG中B、P含量

摘要：

本文采用HF、HNO<,3>溶液处理样品,用ICP-MS方法对溶解下来的硅片表面BPSG中B、P含量进行检测,取得了良好的结果,节约了外汇和检测时间,具有很大的实用价值.

关键词： 质谱联用技术 硅片 硼磷硅玻璃 硼 磷

作者: 黄曜 黄郁芳 宗祥福

作者单位: 复旦大学材料科学系(上海)

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国物理学会第六届质谱分会会员代表大会暨学术报告会

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 131-132

在线出版日期: 2000-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）