ZDB-800制冷机低温泵的研制

摘要：

KM3设备是一个容积为70m<”3>的大型空间模拟器。1993年将原来用油扩散泵作为主抽气泵的有油抽气系统改造成为用制冷机低温泵作主抽气泵的无油抽气系统，并将系统的极限真空由9.3×10<”7>Pa提高了5×10<”5>Pa。该文重点介绍了该设备所用的通径为800mm的制冷机低温泵的方案选择及主要性能计处方法，并给出了主要参娄的实测结果。

关键词： 制冷机 低温泵

作者: 邹定忠 陈欣昔

作者单位: 北京卫星环境工程研究所

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国真空学会真空获得与测量学术交流会

会议地点: 广西北海

会议语种:中文

页码: 24-34

在线出版日期: 2001-05-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）