Φ125mm直拉硅单晶氧径向均匀性研究

摘要：

该语文研究了Φ１２５ｍｍ单晶氧的径向均匀性，为控制氧径向均匀性应首选择Φ１２５ｍｍ热场，增加晶转速度可以改善氧径向均匀性。

关键词： 直拉 硅单晶 氧 径向均匀性

作者: 郝玉清 张果虎 常青 方锋 吴志强 万关良

作者单位: 有色金属研究总院

会议类型: 国内会议

会议名称: 1998年全国半导体硅材料学术会议

会议地点: 上海

会议语种:中文

页码: 65～66

在线出版日期: 1998-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）