不引入测头瞄准误差的内外径比长仪

摘要：

该文提出一种用于精密工件内外径测量的激光比长装置，采用双光路测长方案能消除阿贝误差。由于测球、测量镜和参考镜共同装在一个单悬臂测杆上，不会引入测头瞄准误差。一个位移传感器用来监控测球与工件之间的接触测力。目前系统分辨力为０．０１μｍ，测量不确定度优于０．１μｍ／１００ｍｍ。

关键词： 直径测量 双光路测长 阿贝误差 接触测量

作者: 刘海宁 李真 张国雄

作者单位: 大学精密仪器与光电子工程学院

会议类型: 国内会议

会议名称: 全国计量测试学术大会

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 316～320

在线出版日期: 1998-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）