一种YSZ/PBCO微型悬挂掩模的制备方法

摘要：

该文利用PBCO以及YSZ材料的特性，摸索了用PLD原位制备PBCO膜和YSZ膜的条件，以YSZ/PBCO双层薄膜结构的制备工艺为基础，提出了一种新型组合的耐高温微掩模的制备方法，并且利用给出了桥区尺寸为2×4μ<”2>的悬挂掩摸的结果。

关键词： 支撑层(底层膜) 掩模层(顶层膜) 耐高温微掩模

作者: 傅泽禄 赵恩海 刘雷 顾大振 冯一军

作者单位: 南京大学电子工程系(南京)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第五届全国超导薄膜和超导电子器件学术会议

会议地点: 成都

会议语种:中文

页码: 39～43

在线出版日期: 2000-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）