正压漏孔漏率校准装置的研制

摘要：

采用差压式电容薄膜规定容法,通过测量压强差的变化减小环境温度波动的影响,实现了正压漏孔校准.该套装置校准范围为1×10<”-5>～3×10<”-6>Pa·m<”3>/s,不确定度相应为5℅～15℅(置信度95℅),校准时间约为30分钟,实现数据的自动采集和处理,系统重复性好,并可以用于真空漏孔漏率的校准.

关键词： 正压漏孔漏率 校准 差压式电容薄膜规

作者: 陈旭 张启亮 杨丰 查良镇

作者单位: 清华大学电子工程系(北京)

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国真空学会质谱与检漏专委会第十届年会中国计量测试学会真空校准专委会第五届年会

会议地点: 无锡

会议语种:中文

页码: 28-33

在线出版日期: 2001-04-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）