微机械阵列滤波器

摘要：

硅微加速茺传感阵列器件是新型的传感器件。该文在微机械阵列传感器的基础上提出了滤波器的新思想，在信号获取的同时实现滤波。文中以阵列滤波器的动态特性进行了研究。给出了滤波器的幅频特性曲线。

关键词： 阵列滤波器 动态特性 微机械阵列传感器

作者: 徐道连 钟先信 陈愚 肖沙里

作者单位: 重庆大学微系统研究中心(重庆)

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国仪器仪表学会精密机械分会99”精密工程学术讨论会

会议地点: 成都

会议语种:中文

页码: 140-141

在线出版日期: 1999-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）