无辅助阳极式弯曲弧磁过滤器研究
在真空阴极弧离子镀的过程中，发射出来的等离子体中包含有大量的宏观粒子团(MP”s:macroprticles)，构成对膜表面的污染。该文介绍了一种新型无辅助阳极式磁过滤器的基本结构，测量了弯曲弧磁过滤器出口处的离子分布规律。SEM分析表明无辅助阳极式弯曲弧磁过滤器消除了等离子体中的宏观粒子团。采用无辅助阳极式弯曲弧磁过滤器在玻璃基体上镀铜可以使表面粗糙度从Ra=0.044um降低到0.0003um。
真空阴极弧离子镀 磁过滤器 宏观粒子团
李刘合 夏立芳 马欣新 孙跃 李光 于伟东
哈尔滨工业大学
国内会议
苏州
中文
92-98
1998-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）