微光成象器件研究中的极高真空设备

摘要：

根据三代微光成象器件的研制和管子批量生产的需要，全面系统的介绍一种极高真空设备，国内设备开发成功，将可带来可观的经济和社会效益。

关键词： 真空设备 微光管 光电四件 微光福祝四件

作者: 徐江涛

作者单位: 西安应用光学研究所二室

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国真空学会真空获得与测量学术交流会

会议地点: 广西北海

会议语种:中文

页码: 104-107

在线出版日期: 2001-05-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）