磁流体密封技术的应用研究

摘要：

该文主要介绍了磁流体密封技术在单晶炉上的具体应用，简要介绍了所用磁流体密封的结构及参数。

关键词： 真空密封 磁流体密封 单晶炉

作者: 李留臣 杨润 石建兴

作者单位: 西安理工大学晶体生长设备研究所

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国真空学会真空获得与测量学术交流会

会议地点: 广西北海

会议语种:中文

页码: 169-171

在线出版日期: 2001-05-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）