冷阴极真空弧光离子镀钛金设备的发展与应用

摘要：

冷阴极真空离子镀是属于物理气相沉积(PVD)技术范畴中的一项具体气相沉积方法。通过沉积可以实现在基体材料表面沉上形成一层或多层具有所需功能的某种物质的膜层。所以在工程上，也常气气相沉积称之为镀膜。

关键词： 真空离子镀 物理气相沉积 镀膜设备 钛金

作者: 李兰民

作者单位: 河北遵化市超越然金集团公司

会议类型: 国内会议

会议名称: 首届全国耐蚀耐磨技术及工程应用研讨会

会议地点: 苏州

会议语种:中文

页码: 122-124

在线出版日期: 1998-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）