阴极弧离子镀磁过滤器

摘要：

在真空阴极弧离子镀的过程中，在阴极材料表面形成的阴极斑点处电流密度很大，斑点温度很高，发射出来的物质中包含有很大宏观粒子团(MP”s:macroparticles)，曲线型结构两种，该文介绍了MP”s的形成机理，各种磁过滤器的基本结构作工作原理，并着重介绍90°弯曲弧磁过滤器的特点及离子分布规律。最后，概括介绍了阴极弧离子镀磁过滤器适用范围。

关键词： 真空离子镀 宏观粒子团 弯曲弧磁过滤器 弯曲弧离子镀

作者: 李刘合 夏立芳

作者单位: 哈尔滨工业大学材料学院

会议类型: 国内会议

会议名称: 首届全国耐蚀耐磨技术及工程应用研讨会

会议地点: 苏州

会议语种:中文

页码: 86-92

在线出版日期: 1998-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）