VG-1 高灵敏真空控制仪的研制

摘要：

该文简要介绍了应用扩散硅压力传感器研制的VG-1高录敏真空控制仪。

关键词： 真空控制仪 真空测量仪表 扩散硅 压力传感器 绝对真空计

作者: 吴春阳 康宁 孙旭

作者单位: 沈阳真空技术研究所

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国真空学会真空获得与测量学术交流会

会议地点: 广西北海

会议语种:中文

页码: 131-134

在线出版日期: 2001-05-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）