CuPc/ZnO混杂复合膜NO<,x>气敏特性及机理研究

摘要：

该文采用真空镀膜工艺制备出了CuPc/ZnO混杂复合NO<,x>气敏膜，并进行了相应气敏特性测试研究。结果表明CuPc/ZnO混杂复合膜具有良好的NO<,x>气体敏感特性，选择性及响应特性，并且电阻率比纯酞菁铜膜降低了三至四个数量级，为二次仪表配置提供了方便。对CuPc/ZnO混杂复合膜的敏感机理进行了研究，采用结构分析及半导体原理对一些实验现象作出了解释。

关键词： 真空镀膜工艺 CuPc/ZnO混杂复合膜 气敏特性

作者: 蒋亚东 王涛 吴志明 谢丹

作者单位: 电子科技大学信息材料工程学院(四川)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第六届全国敏感元件与传感器学术会议

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 263～266

在线出版日期: 1999-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）