真空监测与控制的智能冷阴极规管超高真空计的研制

摘要：

该文介绍我室研制的作为真空测量与控制的智能冷阴极规管超高真空计。它是根据我们实验室头束线和实验站真空监测、控制和联锁保护功能的特殊要求而研制的。其真空测量范围为５×１０〈’－１〉－５×１０〈’－８〉Ｐａ。采用片机Ｉｎｔｅｌ８０３１，使设备结构简单，使用方便，运行可靠，国能可扩。

关键词： 真空 智能 超高真空计 真空测量 人工智能

作者: 徐锡林 刘益敏 姚传荣 汪啸

作者单位: 科学技术大学,国家同步辐射实验室

会议类型: 国内会议

会议名称: 第二届全国加速器技术学术交流会

会议地点: 宁波

会议语种:中文

页码: 565～568

在线出版日期: 1998-07-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）