照明条件对光刻成像图形质量的影响

摘要：

该文从原理上讲座了离轴照明对光刻图形质量的影响，通过具体分析为邻近效应校正提供了理论基础。

关键词： 照明条件 光刻成像 图形质量

作者: 罗先刚 陈旭 陈旭南 姚汉民 冯伯儒

作者单位: 中科院光电所微细加工光学技术国家重点实验室(成都)

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国光学学会98年中国青年光学学术研讨会

会议地点: 西安

会议语种:中文

页码: 168-170

在线出版日期: 2000-01-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）