关键词： 增强吸杂硅外延片 检测 延片
作者: 闵靖 邹子英 姚保纲 李积和 陈一
作者单位: 市计量测试技术研究院材料分析室 硅材料厂 大学材料科学研究所
会议类型: 国内会议
会议名称: 1998年全国半导体硅材料学术会议
会议地点: 上海
会议语种:中文
页码: 133～135
在线出版日期: 1998-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）